Sadece LitRes`te okuyun

Kitap dosya olarak indirilemez ancak uygulamamız üzerinden veya online olarak web sitemizden okunabilir.

0+
metin
PDF

Cilt 125 sayfalar

2018 yıl

0+

Процессы и оборудование микротехнологии. Модули 1 и 2

Учебное пособие
metin
PDF
Sadece LitRes`te okuyun

Kitap dosya olarak indirilemez ancak uygulamamız üzerinden veya online olarak web sitemizden okunabilir.

₺50,55
%10 indirim al
Bu kitabı önerin ve arkadaşınız kitabı satın aldığında ₺5,06 kazanın.

Kitap hakkında

Дано описание общей последовательности процессов микротехнологии на примерах производства интегральных микросхем и кремниевого микродатчика давления. Рассмотрены основные этапы получения кремниевых монокристаллических пластин, ключевые операции микротехнологии – изготовление кремниевых пластин, оксидирование. Акцентировано внимание на взаимосвязи между свойствами материалов, структуры, устройством и электрическими характеристиками микроструктур. Рассмотрены физикохимические модели и методы анализа качества технологических процессов микротехнологии. Для студентов МГТУ им. Н. Э. Баумана, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Наноинженерия».

Yorum gönderin

Giriş, kitabı değerlendirin ve yorum bırakın

Kitap açıklaması

Дано описание общей последовательности процессов микротехнологии на примерах производства интегральных микросхем и кремниевого микродатчика давления. Рассмотрены основные этапы получения кремниевых монокристаллических пластин, ключевые операции микротехнологии – изготовление кремниевых пластин, оксидирование. Акцентировано внимание на взаимосвязи между свойствами материалов, структуры, устройством и электрическими характеристиками микроструктур. Рассмотрены физикохимические модели и методы анализа качества технологических процессов микротехнологии. Для студентов МГТУ им. Н. Э. Баумана, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Наноинженерия».

Kitab «Процессы и оборудование микротехнологии. Модули 1 и 2» — saytda onlayn oxuyun. Şərh və rəylərinizi qeyd edin, sevimlilərinizi seçin.
Yaş sınırı:
0+
Litres'teki yayın tarihi:
21 şubat 2024
Son güncelleme:
2018
Hacim:
125 s.
ISBN:
978-5-7038-4864-7
Toplam boyut:
6.0 МБ
Toplam sayfa sayısı:
125
Telif hakkı:
МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)