Основной контент книги Формирование функциональных слоев
metinPDF
Cilt 92 sayfalar
2020 yıl
Формирование функциональных слоев
yazar
Юрий Панфилов
₺60,51
%10 indirim al
Bu kitabı önerin ve arkadaşınız kitabı satın aldığında ₺6,06 kazanın.
Kitap hakkında
Дано описание основных физических явлений при воздействии ускоренных потоков электронов, ионов и газоразрядной плазмы на поверхность обрабатываемых изделий. Рассмотрены ключевые операции изготовления микро- и наноструктур: нанесение тонких пленок в вакууме, вакуумно-плазменное травление и ионная имплантация. Акцентировано внимание на взаимосвязи между характеристиками технологических операций и показателями качества получаемых микро- и наноструктур. Приведены физико-химические модели расчета основных режимов элионной обработки. Для студентов, обучающихся по направлениям «Наноинженерия» и «Электроника и наноэлектроника».
Türler ve etiketler
Yorum gönderin
Giriş, kitabı değerlendirin ve yorum bırakın
Kitab «Формирование функциональных слоев» — saytda onlayn oxuyun. Şərh və rəylərinizi qeyd edin, sevimlilərinizi seçin.
Yaş sınırı:
0+Litres'teki yayın tarihi:
27 haziran 2023Yazıldığı tarih:
2020Hacim:
92 s. ISBN:
978-5-7038-5350-4Toplam boyut:
11 МБToplam sayfa sayısı:
92Telif hakkı:
МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)