Sadece LitRes`te okuyun

Kitap dosya olarak indirilemez ancak uygulamamız üzerinden veya online olarak web sitemizden okunabilir.

Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур. Практикум
ТекстmetinPDF

Cilt 45 sayfalar

2020 yıl

0+

Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур. Практикум

Sadece LitRes`te okuyun

Kitap dosya olarak indirilemez ancak uygulamamız üzerinden veya online olarak web sitemizden okunabilir.

₺54,41
%10 indirim al
Bu kitabı önerin ve arkadaşınız kitabı satın aldığında ₺5,45 kazanın.

Kitap hakkında

Рассмотрен процесс фотолитографии. Изложено описание процедур проведения экспериментов по определению разрешающей способности операций фотолитографии и жидкостного травления тонкопленочных медных структур. Представлена методика обработки полученных результатов травления и выявления на их основе бокового подтрава токопроводящих структур и неравномерности тонкопленочного покрытия по площади заготовки.

Для студентов, изучающих дисциплины «Технология и оборудование микро- и наноэлектроники», «Процессы и оборудование микротехнологии».

Yorum gönderin

Giriş, kitabı değerlendirin ve yorum bırakın
Kitab Ю. С. Бобровой «Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур. Практикум» — saytda onlayn oxuyun. Şərh və rəylərinizi qeyd edin, sevimlilərinizi seçin.
Yaş sınırı:
0+
Litres'teki yayın tarihi:
27 haziran 2023
Yazıldığı tarih:
2020
Hacim:
45 s.
ISBN:
978-5-7038-5369-6
Toplam boyut:
1.5 МБ
Toplam sayfa sayısı:
45
Telif hakkı:
МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)