Основной контент книги Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур. Практикум
metinPDF
Cilt 45 sayfalar
2020 yıl
Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур. Практикум
₺49,30
%10 indirim al
Bu kitabı önerin ve arkadaşınız kitabı satın aldığında ₺4,94 kazanın.
Kitap hakkında
Рассмотрен процесс фотолитографии. Изложено описание процедур проведения экспериментов по определению разрешающей способности операций фотолитографии и жидкостного травления тонкопленочных медных структур. Представлена методика обработки полученных результатов травления и выявления на их основе бокового подтрава токопроводящих структур и неравномерности тонкопленочного покрытия по площади заготовки.
Для студентов, изучающих дисциплины «Технология и оборудование микро- и наноэлектроники», «Процессы и оборудование микротехнологии».
Yorum gönderin
Giriş, kitabı değerlendirin ve yorum bırakın
Kitab Ю. С. Бобровой «Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур. Практикум» — saytda onlayn oxuyun. Şərh və rəylərinizi qeyd edin, sevimlilərinizi seçin.
Yaş sınırı:
0+Litres'teki yayın tarihi:
27 haziran 2023Yazıldığı tarih:
2020Hacim:
45 s. ISBN:
978-5-7038-5369-6Toplam boyut:
1.5 МБToplam sayfa sayısı:
45Telif hakkı:
МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)